進(jìn)入3月以來，沈陽集成電路裝備產(chǎn)業(yè)大動(dòng)作頻頻，一批重大項(xiàng)目接連開工、竣工，引來業(yè)界密切關(guān)注。從沈陽市發(fā)展改革委了解到，緊盯延鏈補(bǔ)鏈強(qiáng)鏈重要節(jié)點(diǎn)，緊扣謀劃儲(chǔ)備、簽約落地、開工建設(shè)、竣工投產(chǎn)重要環(huán)節(jié)，今年沈陽市將統(tǒng)籌推進(jìn)集成電路裝備領(lǐng)域重點(diǎn)項(xiàng)目74個(gè)，為產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展夯實(shí)項(xiàng)目根基。
半導(dǎo)體石英零部件在集成電路裝備產(chǎn)業(yè)中扮演著至關(guān)重要的角色。隨著集成電路制造工藝不斷進(jìn)步，對(duì)高純度石英零部件的需求持續(xù)增長(zhǎng)。3月25日，全球知名科技公司賀利氏集團(tuán)在中國(guó)規(guī)模最大的半導(dǎo)體項(xiàng)目——賀利氏石英沈陽新工廠竣工投產(chǎn)。新工廠主要生產(chǎn)半導(dǎo)體用高純、超高純合成石英系列產(chǎn)品，并設(shè)立創(chuàng)新中心，滿足客戶對(duì)于高端產(chǎn)品的最新需求。
“投資沈陽是我們的關(guān)鍵布局，未來將繼續(xù)為這一項(xiàng)目增資�！辟R利氏集團(tuán)董事會(huì)成員兼首席運(yùn)營(yíng)官弗蘭克·施蒂茨表示，以新工廠竣工為起點(diǎn)，賀利氏將持續(xù)聚焦半導(dǎo)體器件、集成電路產(chǎn)業(yè)化，打造先進(jìn)制造基地和創(chuàng)新高地，帶動(dòng)包括半導(dǎo)體研發(fā)、產(chǎn)業(yè)化，以及配套的原輔材料、耗材在內(nèi)的全生態(tài)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)園區(qū)發(fā)展。
對(duì)于沈陽乃至遼寧集成電路裝備產(chǎn)業(yè)發(fā)展來說，新工廠的全新啟航無疑是重要利好，對(duì)于擴(kuò)大產(chǎn)業(yè)規(guī)模、提升產(chǎn)業(yè)鏈韌性意義深遠(yuǎn)。沈陽市發(fā)展改革委相關(guān)負(fù)責(zé)人介紹，經(jīng)過持續(xù)多年的謀篇布局，沈陽已建立起以整機(jī)和零部件為特色的集成電路裝備產(chǎn)業(yè)集群，并獲得了一批重大標(biāo)志性成果。拓荊科技、芯源微電子、富創(chuàng)精密、沈陽科儀、和研科技、新松半導(dǎo)體等龍頭企業(yè)不斷成長(zhǎng)。去年，沈陽集成電路產(chǎn)業(yè)產(chǎn)值增長(zhǎng)45%以上。
立足全市集成電路產(chǎn)業(yè)“一主兩翼”的整體布局，沈陽市發(fā)展改革委全力以赴實(shí)施延鏈補(bǔ)鏈強(qiáng)鏈工程，以項(xiàng)目建設(shè)為支撐，加快推動(dòng)產(chǎn)業(yè)發(fā)展邁向更高層次。渾南“北方芯谷”作為核心片區(qū)，重點(diǎn)聚焦薄膜沉積等裝備及真空機(jī)械手等零部件產(chǎn)業(yè)；沈北產(chǎn)業(yè)片區(qū)重點(diǎn)在后道劃磨設(shè)備、MCU（微處理器）設(shè)計(jì)及零部件等領(lǐng)域形成特色優(yōu)勢(shì)；鐵西產(chǎn)業(yè)片區(qū)集聚漢科、賀利氏等國(guó)際知名企業(yè)，已成為國(guó)內(nèi)重要的半導(dǎo)體石英零部件產(chǎn)業(yè)片區(qū)。以龍頭企業(yè)為牽引、釋放核心產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)，沈陽著力吸引北京、深圳、蘇州、昆山等地重點(diǎn)企業(yè)、配套項(xiàng)目入駐，目前已有74個(gè)重點(diǎn)項(xiàng)目納入全年推進(jìn)計(jì)劃，預(yù)計(jì)總投資382億元。
就在本月初，總投資10億元的沈陽芯源微高端晶圓處理設(shè)備產(chǎn)業(yè)化創(chuàng)新路項(xiàng)目開工建設(shè)。該項(xiàng)目主要研發(fā)、生產(chǎn)前后道涂膠顯影設(shè)備，建成后將有力助推國(guó)產(chǎn)光刻工序涂膠顯影設(shè)備提升市場(chǎng)占有率。
3月17日，總投資20億元的拓荊科技高端半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)化基地項(xiàng)目鏟土開建。拓荊科技股份有限公司董事長(zhǎng)呂光泉表示：“我們感受到遼寧對(duì)戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)的重視，因此下定決心在沈陽擴(kuò)大投資。基地建成后，產(chǎn)能可提升4倍，可更好地滿足國(guó)內(nèi)集成電路企業(yè)對(duì)高端薄膜裝備的需求�！�
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